發(fā)布時(shí)間： 2019-11-09 點(diǎn)擊次數(shù)： 1163次
快速退火爐是集巧妙的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和*的加熱方式于一體，使得體積和功率都大幅減小的同時(shí)，升降溫速率卻比傳統(tǒng)退火爐提升了數(shù)倍之多。它既可以通氣氛又可以抽真空，滿足了很多用戶對(duì)小樣品快速退火的工藝要求?？焖偻嘶馉t采用蓄熱式燃燒系統(tǒng)，PLC控制爐溫爐壓，從材質(zhì)到設(shè)計(jì)經(jīng)過(guò)嚴(yán)格質(zhì)量控制，熱效率高，實(shí)現(xiàn)快速加熱，快速完成退火熱處理工藝。節(jié)能環(huán)保，微電腦程序控制整個(gè)退火工藝過(guò)程，實(shí)時(shí)自動(dòng)化計(jì)算退火工藝所需的功率。
快速退火爐采用進(jìn)口紅外線加熱管加熱，造型新穎結(jié)構(gòu)合理，爐體和爐管可以自由滑動(dòng)，可實(shí)現(xiàn)快速升降溫。爐管內(nèi)尺寸120MM，可以直接放下4英寸的材料。試樣反應(yīng)區(qū)處在一個(gè)密閉的石英腔體內(nèi)，在完成生產(chǎn)工藝的同時(shí)，也大大降低了間接污染試樣的可能性。快速退火爐用于半導(dǎo)體器件研發(fā)及生產(chǎn)等領(lǐng)域，可滿足離子注入后的快速退火、歐姆接觸快速合金、硅化物合金退火，氧化物生長(zhǎng)以及銅銦鎵硒光伏應(yīng)用中的硒沉積等快速熱處理工藝場(chǎng)合。
快速退火爐保養(yǎng)注意事項(xiàng)：
1、如果快速退火爐使用或者是在長(zhǎng)期不使用之后再次使用，那么就一定要現(xiàn)在120攝氏度的溫度下烘烤一個(gè)小時(shí)，然后再在300攝氏度的溫度下烘烤兩個(gè)小時(shí)才能使用，這樣主要是為了防止?fàn)t膛開(kāi)裂。爐溫要盡量的不要超過(guò)額定的溫度，防止損壞加熱元件以及爐襯。一定不能向爐膛里面直接灌注各種溶解金屬以及液體，要保持爐內(nèi)的清潔。
2、如果爐膛采用的是石英管的話，那么當(dāng)溫度高于1000攝氏度的時(shí)候，石英管的高溫部分會(huì)出現(xiàn)不透明的情況，這種現(xiàn)象叫做失透，是連熔石英管的一個(gè)缺陷，屬于正常的現(xiàn)象。
3、在使用冷爐的時(shí)候，因?yàn)闋t膛是冷的，所以需要大量的進(jìn)行吸熱，這樣低溫段的升溫速度就不能過(guò)快，每個(gè)溫度段的升溫速率差別也不能太大，在設(shè)置升溫速率的時(shí)候，要充分的考慮燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì)，防止出現(xiàn)噴料情況，進(jìn)而污染爐管。
4、要定期的檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是不是完好的，要特別注意加熱元件的各個(gè)連接點(diǎn)的連接是不是緊固。
5、快速退火爐在使用一段時(shí)間之后，如果真空度降低的話，就要分別更換不銹鋼法蘭盤之間的耐溫硅膠圈，或者是重新安裝不銹鋼法蘭盤，提高系統(tǒng)的整體真空度。
快速退火爐操作便捷，電熱元件采用紅外燈管，升溫速度快，節(jié)省時(shí)間，滑動(dòng)法蘭使裝卸樣品過(guò)程簡(jiǎn)化，方便操作，可快速得到實(shí)驗(yàn)結(jié)果，取消了反復(fù)的法蘭安裝過(guò)程，減少了爐管因安裝造成的損壞。
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