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NEE-4000（A）全自動電子束蒸發(fā)系統(tǒng)：NEE-4000電子束蒸發(fā)系統(tǒng)為雙腔配置，樣品臺位于主腔體，二級腔體則用于安置電子束源。兩腔體之間的門閥作為預(yù)真空鎖，使得電子束源腔體保持真空的情況下，通過主腔放入基片到樣平臺（或夾具）上或從中取出。自動裝/卸載基片可通過第三方的預(yù)真空鎖實現(xiàn)。通過PC計算機控制，系統(tǒng)可以提供多電子束源的共蒸發(fā)能力，以及對組分或組分梯度進行編程的能力。

NEE-4000（M）電子束蒸發(fā)系統(tǒng)：NEE-4000電子束蒸發(fā)系統(tǒng)為雙腔體的配置，樣品臺位于主腔體，二級腔體則用于安置電子束源。兩個腔體之間的門閥可以作為預(yù)真空鎖，使得電子束源腔體保持真空的情況下，實現(xiàn)基片通過主腔體放入基片到樣平臺（或夾具）上或從中取出。自動裝/卸載基片可通過第三方的預(yù)真空鎖實現(xiàn)。通過PC計算機控制，系統(tǒng)可以提供多電子束源的共蒸發(fā)能力，以及對組分或組分梯度進行編程的能力。