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AT-400原子層沉積系統(tǒng)高縱橫比沉積，具有良好的共形性;曝光控制，用于在 3D 結(jié)構(gòu)上實(shí)現(xiàn)所需的共形性；預(yù)置有經(jīng)驗(yàn)證過的 3D 和 2D 沉積的優(yōu)化配方；簡單便捷的系統(tǒng)維護(hù)及安全聯(lián)鎖；目前市面上占地小，可兼容各類潔凈室要求的系統(tǒng)；