欧美黄色精品在线观看-亚洲一区二区三区偷拍女厕-偷拍美女一区二区三区-尹人在线最新香蕉视频

歡迎您來到德國韋氏納米系統(tǒng)(香港)有限公司網(wǎng)站!
技術(shù)文章 / article 您的位置:網(wǎng)站首頁 > 技術(shù)文章 > Harrick等離子清洗機的結(jié)構(gòu)組成
產(chǎn)品中心

product center

Harrick等離子清洗機的結(jié)構(gòu)組成

發(fā)布時間: 2017-10-20  點擊次數(shù): 1530次
   Harrick等離子清洗機采用電感耦合高密度等離子體(ICP),能快速去除晶圓上之殘留光阻(光刻膠),達(dá)到晶圓表面潔凈,Harrick等離子清洗機具有蝕刻率高,無電極污染,離子能量低,不損傷基板等優(yōu)點。
  Harrick等離子清洗機的結(jié)構(gòu)組成,主要都是由兩個部分組成:
  一是,等離子發(fā)生器,該部分由集成電路、運行控制、等離子發(fā)生電源、氣源處理、安全防護(hù)等組成。
  二是,等離子處理裝置,該部分由激發(fā)電極、激發(fā)氣路等組成。
  Harrick等離子清洗機預(yù)處理工藝的優(yōu)點:
 ?。?、表面活化非常有效而且均勻,所處理的表面上不會有熱量累積。
 ?。?、無外殼變形
  3、可降低壁厚,節(jié)省了材料
 ?。础⒖梢蕴幚碚麄€粘接面,包括膠槽底部和側(cè)壁
 ?。?、整個接合表面的預(yù)處理,包括凹槽的根部和側(cè)壁
  Harrick等離子清洗機產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個電極形成電場,用真空泵實現(xiàn)一定的真空度,隨著氣體愈來愈稀薄,分子間距及分子或離子的自由運動距離也愈來愈長,受電場作用,它們發(fā)生碰撞而形成等離子體,這時會發(fā)出輝光,故稱為輝光放電處理。 輝光放電時的氣壓大小對材料處理效果有很大,影響另外與放電功率,氣體成分及流動速度、材料類型等因素有關(guān)。
18721247059

聯(lián)系我們

contact us

咨詢電話

400-9999-18518721247059

掃一掃,關(guān)注我們

返回頂部

聯(lián)


礼泉县| 新河县| 九台市| 双柏县| 大兴区| 长海县| 东宁县| 廊坊市| 新闻| 乐都县| 来宾市| 上犹县| 无锡市| 巢湖市| 太原市| 南木林县| 翁源县| 金溪县| 邯郸县| 内江市| 牡丹江市| 鲜城| 武鸣县| 徐汇区| 马龙县| 漳平市| 咸阳市| 濮阳市| 彩票| 禹州市| 满城县| 湖南省| 平陆县| 保康县| 永清县| 竹溪县| 哈巴河县| 万年县| 禄丰县| 满城县| 玉山县|