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NPC-4000（M）等離子刻蝕機(jī)：NANO-MASTER 等離子刻蝕和等離子灰化機(jī)是專門設(shè)計(jì)用來(lái)滿足晶圓批處理或單晶片處理，具有廣泛應(yīng)用，從晶圓的光刻膠剝離到表面改性都涉及到。該系列的設(shè)備采用PC控制，可以配套不同的等離子源，加熱或不加熱基片夾具,具有*的能力:可以從PE等離子刻蝕切換到RIE刻蝕模式,也就是說(shuō)可以支持各向同性和各向異性的各種應(yīng)用。