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光學(xué)元件原子級(jí)拋光鍍膜設(shè)備：NANO-MASTER 離子束清洗拋光-磁控濺射鍍膜系統(tǒng)提供*進(jìn)的技術(shù)，在一個(gè)腔體中實(shí)現(xiàn)原子級(jí)清洗和光學(xué)樣片拋光，然后把樣片傳送到第二級(jí)腔體中對(duì)同一樣片進(jìn)行表面涂覆，整個(gè)過(guò)程不間斷真空。系統(tǒng)的設(shè)計(jì)也可以支持其中任一個(gè)腔體的單獨(dú)使用，同時(shí)具備各自的自動(dòng)上/下載片功能。